随着周局长的指令下达，会议室墙壁上的广播里，传来了下方实验室主控台的清晰回音。 “各单位注意，初光测试正式启动。”贺建国手持对讲机，声音沉稳，但微微发紧。 “光源系统启动，193纳米激光器预热完毕，输出功率稳定在60瓦。” “深紫外物镜系统自检通过，镜片温控正常，应力消除完毕。” “超精密双工作台就位，X、Y轴干涉仪校准完成，晶圆台与掩膜台同步锁定。” 一系列生涩冷硬的工业指令在实验室内回荡。 会议室玻璃幕墙前，周局长、林副部长、科技部高层，以及许晨和陈立峰，所有人都不自觉地屏住了呼吸。 没有人交头接耳，目光死死盯着下方那台庞大的机械巨兽。 “上片。”贺建国下达指令。 机械臂精准地夹起一片涂满高分子光刻胶的十二英寸硅片，平稳地送入机器内部的工作台上。 “对准系统锁定。” “开始曝光！” 贺建国重重按下了操作台上的主控按钮。 嗡—— 一声极具穿透力的低频震动声在实验室底座响起。 天卓精密研发的双工作台开始以肉眼难以捕捉的极高加速度进行纳米级别的移动。 与此同时，顶端的光源模块瞬间激发。 193纳米的深紫外激光穿过极其复杂的光路调节系统，射入造价数亿的长天物镜组。庞大的光束被极度压缩，化作无形的刻刀，按照掩膜版上的电路图纸，精准地劈在下方高速移动的硅片上。 整个曝光过程持续了不到两分钟。 但在会议室里的众人看来，这两分钟却比一年还要漫长。周局长端着茶杯的手停在半空，一动不动；林副部长眉头紧锁，眼神紧绷。许晨面色平静，但身侧微微握紧的拳头还是暴露了他内心的波澜。 “曝光结束。晶圆下片。” 随着机器的提示音，机械臂将曝光完成的硅片取出，迅速送入一旁的显影液槽中进行定影处理。 几分钟后，显影完毕的硅片被直接送到了实验室最核心的量测设备——高分辨扫描电子显微镜（SEM）的操作台上。 贺建国亲自坐到了显微镜前，双手握住操作杆，将硅片表面的微观图像投射到实验室的中央大屏幕上，同时会议室的屏幕也同步接入了画面。 画面不断放大。一万倍、五万倍、十万倍。 原本平滑的硅片表面，此刻显现出了一道道极其密集、平行的沟壑。这些就是激光在光刻胶上雕刻出的电路蚀刻线。 贺建国的手指在键盘上快速敲击，调出测量工具，将两条红色的基准线卡在了一条沟壑的两端。 滴。 屏幕右上角，一个绿色的测量数据跳了出来。 【线宽：64.7n 不仅达到了65纳米的标准，而且线条边缘极其锐利，没有丝毫的毛刺、晕染和断层，曝光均匀度堪称完美。 整个实验室在这一瞬间陷入了死一般的寂静。 紧接着，“轰”的一声，巨大的欢呼声几乎要掀翻实验室的屋顶。 “成功了！” “65纳米！初光测试完美通过！” “干出来了！我们真特么干出来了！” 几名年轻的工程师直接抱在一起嚎啕大哭，那些上了年纪的专家则是激动得浑身发抖，互相用力拍打着对方的后背。 贺建国坐在操作台前，看着屏幕上的数字，眼中竟有些进沙子了，可是在这光刻机实验室里面哪有沙子啊！ 会议室里，同样是长出了一口气。 周局长重重地把茶杯放在桌面上，连说了三个“好”字。林副部长和科技部的领导们互相击掌，脸上满是如释重负和狂喜。 “小许！”周局长转过身，一把握住许晨的手，用力摇晃了两下，“你们天宇立下大功了！华国的半导体脊梁，今天算是挺直了一截啊！” “是大家共同努力的结果。”许晨脸上也露出了由衷的笑容。 “走，咱们下去看看这群功臣。”周局长一挥手，带领众人通过专用电梯，经过严格的除尘程序后，走进了下方的主控室。 看到高层领导和许晨走进来，实验室里的欢呼声稍微平息了一些，但众人眼中的狂热依然无法掩饰。 贺建国大步走上前来，先是向周局长等人敬了个礼，随后径直走到许晨面前，紧紧握住他的手，语气激动而郑重：“许总，谢谢你。没有你们天宇真金白银砸出来的三大件，上微电子今天就是无米之炊。你不仅救了上微，也给咱们国家的半导体工业留了底气！” “贺总工言重了，这是国内所有科研人员共同的结晶。”许晨拍了拍贺建国的手背，随即切入正题，“贺总工，今天初光测试成功了，说明机械和光学协同没有问题。我想问个最实际的问题，这台机器，什么时候能真正量产？” 听到这个问题，周围的领导也都安静下来，看着贺建国。 贺建国收起激动，思索了片刻，严谨地回答道：“许总，初光只是证明它能用。要达到量产标准，也就是满足晶圆厂每小时曝光一百片以上、且良率达到99%的商业要求，我们还需要进行大量的疲劳测试和底层算法优化。保守估计，还需要六到八个月的时间进行量产标定。” “八个月……”许晨点了点头，“速度很快了。贺总工，我想向上微电子预定首批下线的量产机。大概售价在多少？” 贺建国愣了一下，随即看向周局长。 周局长笑了笑：“小许，你这动作够快的。别人还没见到真机，你连订单都准备下了。” “周局长，天宇不能光造车。未来的汽车就是带轮子的超级计算机，算力芯片、电源管理芯片、碳化硅功率器件，用量极大。而且我们还要布局消费电子领域。”许晨认真地说道，“把芯片的命脉交在别人手里，我睡不安稳，我打算自己建一座晶圆厂，从65纳米工艺开始，先把基础的车规级芯片和电控芯片的自研自产给解决掉。” 轩辕半导体厂区的光刻机制程没有这么高。 “有魄力。建一座晶圆厂，这又是上百亿的投资。”林副部长赞赏地点了点头。 贺建国此时开口道：“许总，因为三大核心部件都是你们天宇投资的国内企业提供的，省去了极高的进口溢价和专利费。这台65纳米干式光刻机的整体造价，目前核算下来大概在1.2亿人民币左右。如果后期规模化量产，价格还能进一步下探。比从国外买便宜了一半还要多。” “1.2亿，非常合理。”许晨当即拍板，“陈立峰，等会和上微电子对接一下，首批先定两台。我们马上启动天宇晶圆厂的选址和厂房建设，等你们机器下线，我们的厂房刚好能接收入驻。” “没问题许总！”陈立峰立刻应下。 “小许啊，你这执行力，确实让很多老一辈的企业家都汗颜。”周局长看着许晨，随后神色变得严肃起来，“不过，今天初光测试成功这件事，国家层面不会进行任何对外的宣扬，甚至连内部的简报都会严格控制知密范围。” 许晨心领神会地点了点头：“我明白。闷声发大财。现在我们只是解决了65纳米，虽然跨过了门槛，但和西方最先进的工艺比，还有很大的差距。现在大张旗鼓地宣扬，只会引来毫无意义的技术封锁和原材料禁运。” “你明白就好。”周局长眼中闪过一丝欣慰，“西方的封锁一直都在，我们现在的策略就是“深挖洞，广积粮”。65纳米只是基础。接下来，我们要在这台干式机的基础上，加入水冷浸没系统，直接向28纳米浸没式光刻机冲锋！等到我们真正掌握了28纳米，甚至拥有了能通过多重曝光达到14n艺的时候，才是我们真正向外界亮剑的日子。” “这期间，需要天宇和上微电子，以及全国的半导体产业链继续保持静默，咬牙苦干。”林副部长在一旁补充道。 “各位领导放心，天宇集团分得清轻重。”许晨郑重表态，随后提出了自己的诉求，“光刻机造出来了，但上游的生态同样关键。高端光刻胶、电子级高纯度化学试剂、精密流体控制阀门，还有EDA设计软件。这些我们依然受制于人。接下来，我会继续通过晨宇资本，加大对这些国内上下游供应链的投资和技术扶持。” 许晨看着周局长和林副部长：“不过，涉及到很多化工原材料的审批、基础科学研究所的对接，仅靠企业的力量推进太慢。我希望在这方面，能得到国家和各部委的政策绿灯。” “这个你完全不用担心。”周局长毫不犹豫地答应下来，“你们出资金、出市场，国家出政策、出资源。回去之后，我会联合科技部、工信部专门成立一个协调小组，天宇投资的半导体相关产业链，所有审批特事特办。” 老李也笑着插话道：“小许，你这次可是给国家立了天大的功劳。我们这几个老家伙刚才在楼上商量过了，不能让做事的人既出钱又吃亏。回去之后，我们会给上面打报告。” “天宇集团不仅要拿到国家最高级别的国家重点高新技术企业名头，相关的企业所得税减免、重大科研项目资金补贴，一个都不会少。你不是要建晶圆厂吗？用地的审批和基础水电配套，发改委那边我亲自去打招呼，保证给你用最快的速度批下来！” “那我多谢各位领导的厚爱了。”许晨笑着回应。 众人相视大笑，主控室里的气氛融洽而振奋。 ......